国内・海外クロスボーダー・半導体製造装置株式取得東京エレクトロン → FSI International（米国）2019年3月15日非公開東京エレクトロンが半導体洗浄装置関連の技術買収を実施。EUV世代の微細化プロセスに必要な超精密洗浄技術を獲得し、装置ポートフォリオを補完。